248nm KrF 准分子激光专用！Hellma CaF₂单晶光学板详解

CaF₂ 氟化钙 248nm 光学晶体板 完整参数 + 功能特点

一、基本参数

材质：氟化钙单晶 CaF₂，适用波长248nm

晶体取向：<111> 晶向

外形尺寸：20.0×12.0×12.0 mm 双面平行平片

尺寸公差：长宽 / 厚度 0~-0.1mm

表面粗糙度：精磨面 Rq=2μm

防护倒角：0.5mm 全周倒角

二、核心材质特性

紫外深紫外超高透过

氟化钙是248nm KrF 准分子激光窗口 / 分光基底材料，248nm 波段透过率，无吸收、无荧光、耐紫外辐照老化。

单晶结构 <111 取向

光学均匀性优，应力极低，激光传输无畸变，适合高能紫外光路。

物理稳定性强

热膨胀系数小、导热好，抗激光热冲击，不易炸裂；耐高低温、耐化学腐蚀。

无本征双折射

偏振光路、激光谐振腔、光束整形均可稳定使用。

三、结构工艺特点

双面平行平片（plan-plan）

平行度高，用作激光窗口、隔离片、滤光基片、光路垫板精度达标。

严格负公差加工

装配贴合紧密，无松动，适配精密激光腔体卡槽安装。

Rq 2μm 精磨表面

非抛光、工业精磨级，不做高透光抛光，多用于内部光路支撑、遮光垫板、结构透光衬板、激光腔体隔离板。

0.5mm 防护倒角

防止安装崩边、磕碰破损，装机安全性高。

四、适用场景

KrF 准分子激光系统 248nm 专用

激光腔体内部透光隔板、光路隔离板、气体腔观察窗。

深紫外紫外光学实验、光刻配套光路

激光设备内部结构透光基板、防尘透光挡片

紫外光谱仪、紫外检测设备光学基材

高能紫外环境下替代石英玻璃，抗紫外老化远优于熔石英

五、使用优势

248nm 深紫外波段透过性能远超普通石英

单晶 < 111 取向光学一致性好，光路偏移小

精磨面成本低、实用性强，适合设备内部非成像类透光结构

尺寸规整易固定，全周倒角适配自动化 / 精密设备装配